技术编号：36686923
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及集成电路生产设备，尤其涉及一种用于晶圆分选设备的磁吸机械臂。背景技术、专利文献cnu公开一种晶圆片移送装置，是一种机械臂，其包括支承装配组件、升降调节组件、升降驱动组件、偏转调节组件、偏转驱动组件及片体取放组件，支承装配组件中具有安装空间，升降调节组件安装于支承装配组件中，升降驱动组件安装于支承装配组件中，并与升降调节组件衔接，偏转调节组件安装于升降调节组件中，偏转驱动组件安装于升降调节组件中，并与偏转调节组件衔接，片体取放组件安装于偏转调节组件中，片体取放组件采用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。