技术编号:36779495
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件领域,特别涉及一种具有接地屏蔽结构的微/纳米器件及其制备方法。背景技术、随着技术的发展,微/纳米芯片越来越趋向于微型化和集成化,受到人们的广泛关注。、微/纳米器件要实现驱动控制,各单元之间电信号串扰问题亟待解决。串扰会在其他传输线上引入感应噪声,使得电信号的噪声容限减小。特别是对于单元尺寸小、单位面积上集成度高的微/纳米器件,串扰问题变得越来越严重。例如,对于常规存储器,小型化、集成度高带来的问题是邻近存储器单元之间会发生串扰(干扰)而导致数据丢失;对于微/纳米显示器,小...
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