技术编号：36785071
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械系统和微惯性测量，特别是一种模态分离式mems陀螺仪频差自动调谐系统。背景技术、硅微陀螺仪是一种基于mems工艺设计的芯片化角速率传感器。相比于传统惯性陀螺仪，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、易于集成批量化、可靠性好、测量范围大等特点，这也使得其在军用领域具有重要应用价值也在民用领域具有广阔的发展前景。、目前，工作在～hz小频差模式下的mems陀螺仪已经达到.°/h的零偏不稳定性，初步满足了g基站、无人平台等的寻北定向需求。但受mems加工工艺的非理...
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