技术编号:36826072
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请实施例涉及半导体技术,尤指一种cmos电路结构、阵列、非门结构、工艺方法及设备。背景技术、非门是逻辑电路中的基本单元,当非门输入端为高电平时输出为低电平,反之,输入端为低电平时输出为高电平;当前逻辑电路中,非门的设计有两种,一种是coms(complementary metal oxide semiconductor,互补金属氧化物半导体)逻辑,一种ttl(transistor transistor logic,晶体管-晶体管逻辑)逻辑。其中,cmos逻辑的非门器件结构利用平面结构,使得...
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