技术编号：36847414
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及一种单晶炉领域，尤其涉及具有缓冲功能的单晶炉隔离阀阀板装置及单晶炉。背景技术、单晶硅是制备太阳能电池的重要原料。目前通常通过直拉法(czochralski，cz法)制备单晶硅棒。直拉法制备单晶硅棒包括装料、熔化、细颈、放肩、转肩、等径和收尾等阶段。其中，细颈阶段的目的是为了消除位错。通常采用单晶炉进行单晶硅棒的拉制。单晶炉主要包括主炉室和副炉室，熔融的硅液盛放在主炉室中，生长的单晶硅棒被位于副炉室顶部的提拉机构提拉进入副炉室。在主炉室和副炉室之间设置有隔离阀，隔离阀包括气缸驱动与阀板...
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