技术编号：36880203
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体分子泵轴承设备，具体为一种具有散热结构的保护装置。背景技术、分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使其获得定向速度，从而被压缩驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，半导体各种生产工艺都会需要分子泵维持真空环境，在分子泵工作过程中，对轴承性能要求较高，大多数涡轮分子泵都采用油润滑轴承，通常设置在转子的排气侧。、根据公示的一种高速泵轴承保护装置(公开号：cn u)，上述申请中提出了一种新型的高速泵轴承保护装置，通过设置有密封槽与密封环配合，尽量防止灰尘...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。