技术编号：36967723
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及运行中的真空器件真空度测量，抽真空及维持真空的领域，尤其涉及一种便携超高真空维持及真空检测复合系统及方法。背景技术、真空器件在运行过程中的系统参数下降，其中的主要原因之一是器件的真空度下降引起，例如电真空器件中的慢性漏气使电真空器件的阴极中毒。为了防止阴极中毒，需要将真空器件的真空度控制在一定的范围内。、目前，超高真空器件封离排气系统后的真空度的维持通常有种方法。第一种方法是在真空器件里安装吸气剂；第二种方法是在真空器件的外侧并联离子泵的方式维持超高真空度。如果离子泵表面积大会引...
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