技术编号:36997565
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基板处理装置以及计算机可读存储介质。背景技术、近年来,已知有用于对基板进行各种处理的基板处理装置(例如参照专利文献)。具体而言,此种基板处理装置包括:研磨单元,包含对基板进行研磨处理的至少一个研磨装置;清洗单元,包含对经研磨单元研磨的基板进行清洗处理的至少一个清洗装置;搬送单元,包含对基板进行搬送处理的至少一个搬送装置;以及控制装置,对基板处理装置进行控制。、此外,在基板处理装置中连续搬送多个基板的情况下,有时会因先行基板的处理等待、或者与以不同的路径搬送的基板共用的处理装置...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。