技术编号:37010216
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电源,具体涉及一种等离子体电源反馈电路、反馈方法以及等离子体电源。背景技术、电感耦合等离子体电源简称icp源,是质谱仪中对样品离子化的一种手段,请参照图所示,其主要的组成由高功率射频电源、空心线圈、反馈系统、点火系统、冷却系统、供气系统、进样系统等组成,其主要的原理为:、首先供气系统给空心线圈所在的腔体内提供一定密度的氩气。、然后大功率的射频功率加到空心线圈上,形成射频电流、通过反馈系统的控制,射频电流产生稳定的射频磁场。、点火系统启动后,点火针输出高压,高压放点产生火花,产...
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