技术编号：37012007
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于声波器件，具体为一种压电复合结构、制备方法及声波器件。背景技术、铌酸锂与钽酸锂是目前用途最为广泛的压电换能材料，它们具有优良的压电、铁电、声光、热释电及电光效应，被广泛用于射频前端谐振器和滤波器和电光调制器的制备。目前g、大数据、增强/虚拟现实等新兴领域对信息传输速率、功耗、信号质量提出了更高的要求。由于材料性质的限制，基于铌酸锂或钽酸锂体材料的器件难以满足通信系统更高的要求。为提升器件性能，以异质衬底压电薄膜材料为基础的压电复合衬底器件技术应运而生。铌酸锂或钽酸锂薄膜与异质衬底的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。