技术编号：37012857
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及掩膜版，尤其涉及一种掩膜版及其制备方法。背景技术、现有的掩膜版是由石英玻璃和金属膜层构成，通过结构设计实现了％和％两种透光率。、另外通过添加狭缝图案(slit pattern)或变更金属膜层的材质能够拥有两种及以上的透光率，但这种方式制作掩膜版的成本高昂，需要较高的曝光功率，而且以上两种及两种以上的透光率均未超过％。、需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。技术实现思路、...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。