技术编号:37023037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本说明书涉及真空镀膜,具体涉及一种微晶玻璃真空镀膜方法。背景技术、在真空镀膜中,大口径高精度微晶玻璃多个面镀膜应用越来越多,广泛应用于高端领域,如光刻机、航空、航天领域等。大口径高精度微晶玻璃本身的加工工艺复杂,加工精度要求高,加工产品周期长,产品的价值高,在镀膜过程中容易造成产品损伤的风险。技术实现思路、有鉴于此,本说明书实施例提供一种微晶玻璃真空镀膜方法,可实现对微晶玻璃两个第一侧面、两个第二侧面和两个第一斜面的镀膜,在镀膜的过程中不会对微晶玻璃造成损伤,镀膜效果好。、本说明书实施例提...
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