技术编号：37049401
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于高精度测量的，尤其涉及一种光谱可调的共焦位移和厚度的测量系统及方法。背景技术、光谱共焦测量技术的原理是：系统主要由宽光谱光源模块、光纤、镜头和光谱仪组成，宽光谱光源发出的光由光纤传导至镜头，光波在镜头中色散透镜的作用下产生色散，在色散透镜出射光轴上产生连续的波长分布：即不同波长的光将会聚焦于光轴上不同的位置，从而产生了轴向位置色差，对应被测物体的上(下)表面对应有一个波长的聚焦点，根据光路可逆原理，分别汇聚于被测物体上(下)表面的相应波长的光将反射回到光纤，回波信号被光谱仪分光和采集...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。