技术编号：37053531
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及耗材(消耗部件)、等离子体处理装置和耗材的制造方法。背景技术、在干蚀刻装置等等离子体处理装置中，使用因暴露在等离子体中而消耗的耗材。作为耗材，能够采用使用了石英的部件(例如，专利文献)。、现有技术文献、专利文献、专利文献：日本特开-号公报技术实现思路、发明要解决的技术问题、本发明提供一种廉价地制造等离子体处理装置用的耗材的技术。、用于解决技术问题的技术方案、本发明是一种耗材，其由石英和陶瓷中的任一种材料形成，用于等离子体处理装置，上述耗材具有：由...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。