技术编号:37060010
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机器视觉位移测量,特别是基于复合位感图栅的大量程视觉位移测量装置及测量方法。背景技术、大量程精密位移测量技术及器件作为高端机床装备和超精密高端装备的核心技术和关键功能部件,是实现精密定位与控制的“眼睛”,直接决定主机的性能。没有超精密测量,就不会有高质量的高端装备制造。如机床加工中刀具进给量的精确测量及位置反馈等对于零件的加工质量至关重要。、当前可实现大位移测量的技术主要包括激光干涉法、光栅测量法和时栅测量法等。光学干涉系统复杂、造价昂贵、难以高度集成,限制了其在普通测量场合中的应...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。