技术编号:37098762
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及敏感器件,尤其涉及一种悬置内埋式陶瓷基敏感器件。背景技术、敏感器件在各个领域均具有广泛的应用,随着器件集成化程度的提高,对传感器的要求也越来越高,其中以mems工艺为基础的微热板式气体传感器以其低功耗、体积小、易集成的特点成为当前低功耗气体传感器领域的研究热点。大多数mems气体传感器采用铂金线作为加热结构、au金属线为测试结构,中间设置氮化硅/氧化硅作为绝缘层,采用背面体硅加工技术实现微热板的悬空薄膜结构。也有报道更低功耗的气体传感器,刻蚀出硅梁式结构。、目前常用的半导体气体传感...
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