技术编号:37101703
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。:本技术属于半导体晶圆加工,特别涉及一种半导体晶圆裂片机切刀定位装置。背景技术、背景技术:、半导体晶圆生产工艺中,经过激光器切割后,半导体晶圆切割部位还留有一小部分相连,需要在裂片机上将相连的部分切断,完成半导体晶圆的生产。、裂片机对半导体晶圆切断工艺中,理想的状况是劈刀的刀锋与半导体晶圆切割道对齐,这样在切断时切断位置准确,切割效果好。但是在实际操作过程中,劈刀的刀锋位置与半导体晶圆切割道常常存在偏差,导致切断位置有误差,影响了切割效果。、公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用...
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