技术编号:37118312
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法,特别是涉及具备保持基板的基板保持手部的基板搬运机器人以及基板搬运机器人的控制方法。背景技术、以往,已知具备保持基板的基板保持手部的基板搬运机器人。例如,在日本专利第号公报中公开有这样的基板搬运机器人。、在日本专利第号公报中,公开了从收纳有多个基板的盒中搬出基板的基板搬运机器人。基板搬运机器人基于被预先示教的示教数据,通过手部从盒中搬出基板。另外,在日本专利第号公报中,公开了对收纳于盒中的多个基板进...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。