技术编号:37160616
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及洁净室,尤其是涉及一种洁净室环境隔离保护设备及其方法。背景技术、洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害成分、细菌等污染物排除,并将室内温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与分布、噪音振动及照明、静电等因素控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。、洁净室最主要的作用在于控制生产产品(如硅芯片等)时所接触大气环境的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。洁净室的洁净度往往受到气流的影响,即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃的移动、扩散受到气流的支配。...
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