技术编号:37188322
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及多孔质陶瓷吸附平台,具体为具有防护结构的多孔质陶瓷吸附平台。背景技术、多孔陶瓷吸吸附平台是各种半导体片加工过程中用于吸附及承载的专用性工具,广泛应用于减薄机、划片机等工序,现有的多孔陶瓷吸吸附平台结构多较为单一,在使用时多摆放于露天环境下,防护性较差,且无法对需要加工的物品进行移动,因此不满足现有的需求,对此我们提出了具有防护结构的多孔质陶瓷吸附平台。技术实现思路、本实用新型的目的在于提供具有防护结构的多孔质陶瓷吸附平台,以解决上述背景技术中提出多孔质陶瓷吸附平台的防护性差的问题。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。