技术编号：37213705
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本揭露是有关于一种测量系统及探针下针方法，特别是有关于利用扫描式电子显微镜影像的明暗进行判断的探针下针方法。背景技术、随着科技的进步，半导体装置的尺寸不停地微缩至纳米尺度。因此，需要导入扫描式电子显微镜(scanning electron microscope,sem)来辅助对半导体装置的试片的测量。同时，还需要使用极端尖细的纳米尺度的探针来进行测量。、一般而言，探针的下针过程是使用人工操作的，并且需要借由探针在接触试片后，因为进一步的下降所造成的水平移动来判断是否接触。然而，由于人工下针的...
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