技术编号：37231494
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及机械工程，尤其涉及一种高精度无掩膜光刻系统、控制系统。背景技术、近年来，微纳米尺度制造技术以其在各个领域中的重要应用，逐渐引起了广泛的关注。微纳米尺度制造是一种以纳米尺度为基准的制造方法，通过对材料和结构的精细控制，实现了微小器件的高精度制造；然而，传统的微纳米尺度制造方法在一些方面存在着局限性，例如制造速度较慢、成本较高等问题。、为了克服这些限制，并在微纳米尺度制造领域取得更大的突破，d打印技术开始逐渐融入其中。d打印技术通过逐层堆积材料，使得复杂的微纳米结构可以以更加快速和...
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