技术编号：37232029
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及一种智能仓储，特别是一种用于存放半导体晶圆片的智能仓储，该智能仓储能够充入氮气以防止晶圆片氧化。背景技术、半导体晶圆片是制造集成电路的基础材料，其质量直接影响集成电路的性能和可靠性。为了保护晶圆片不受外界环境的影响，通常需要将其存放在智能仓储中，以实现晶圆片的自动化管理和调度。然而，现有的智能仓储内通常混入的是空气，而空气中的氧气会对晶圆片表面产生氧化作用，导致晶圆片表面形成氧化层。这种氧化层会对晶圆片的电学特性和工艺稳定性产生不利影响，例如增加晶圆片的表面粗糙度和缺陷密度，降低晶圆...
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