技术编号:37234585
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于半导体制造,具体的,涉及一种半导体器件及其制备方法。背景技术、在构成集成电路的众多元器件之中,电感作为一种磁能储能元件,与电能存储元件搭配使用可以实现多种不同功能。同时,电感还因其具有的低通高阻特性,可以实现提高速度、减小功耗、阻抗匹配和滤波等作用。、在现有技术中,为了提高电感强度,通常采用以下两种方法:、增加电感线圈匝数;、利用具有高磁导率的磁性材料或高电感率的材料制备电感线圈。然而,第一种方法会占用更大的空间,造成设计面积浪费;第二种方法通常需要使用较多的材料和工艺,增加制...
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