技术编号：37239905
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于激光光束整形领域，具体涉及一种用于线形激光与微射流耦合的光学结构和加工设备。背景技术、近些年来，随着碳化硅、金刚石等第三代半导体材料的兴起，对材料的加工工艺要求也越来越高。目前，由国外引进的激光微射流加工技术在第三代半导体材料的加工领域大放异彩，相比于之前的加工工艺，激光微射流加工技术能够提高加工效果和加工效率。、但是，现有的激光微射流加工头均为采用旋转对称面，例如球面和奇/偶次非球面构成的镜片结构，仅能将光束聚焦成点状，从而和圆形微射流耦合，以对材料上的一个点进行加工，如果需要对...
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