技术编号：37259528
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及光伏电池片生产，特指一种带辅助加热装置的pecvd及加热控制方法。背景技术、硅片经过制绒、扩散、刻蚀、退火、表面镀膜、钝化、丝印烧结等工序后成为电池片，不同工艺流程有所不一定。表面镀膜是光伏电池生产过程中的核心工序之一，而pecvd是表面镀膜的设备，pecvd设备包括炉体柜、净化台和源柜三大部分。反应室位于炉体柜内，是进行镀膜反应的场所，通常在℃-℃进行。现有的管式pecvd的炉体是圆柱体结构，加热丝环绕在石英管外壁，石英管内形成镀膜反应室，炉体以一个圆柱加热腔体对反...
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