技术编号：37278139
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及集成电路温控设备液体传输管路保温，尤其涉及一种集成电路温控设备的传输管路组件和温控系统。背景技术、随着科技的发展，传输管路在各种行业的适用范围广泛，以集成电路制造行业为例，随着集成电路制程的发展，刻蚀等工艺的温度范围在-～℃之间，集成电路温控设备需要通过传输管路对主工艺设备进行控温。传输管路的保温结构采用橡塑保温棉或航空保温材料等。传输管路安装的安装环境不会是完全平整的环境，通常会需要将传输管路折弯避让，但是在折弯避让的过程中，传输管路的保温结构受到挤压的情况难以避免，保...
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