技术编号：37307901
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压胶圈工具的，特别是涉及一种密封圈压填装置。背景技术、目前的磁控溅射镀膜设备通常采用圆柱形腔体或长方形腔体，工作环境为高真空，需要达到-pa或者-pa以上的真空度，同时由于需要进样或取样，腔体的端门要经常开启，那么通常情况下的端门不能采用无氧铜圈或者银丝金属密封，而要采用氟橡胶圈的密封方式，这种密封方式需要在端门的表面挖出环形的密封圈槽，然后将o型密封胶圈放入密封圈槽之内，这种设备的密封圈槽通常采用燕尾密封圈槽，其上窄下宽的构造具有三面密封的良好效果。因为填充率的要求，密...
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