技术编号:37314571
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种感光性组合物、感光性元件以及布线板的制造方法。背景技术、在布线板生产中,形成抗蚀剂图案以获得所需的布线图案。感光性组合物被广泛用于抗蚀剂图案化。近年来,msap(改良半加成法)作为一种有望形成精细布线图案的方法受到关注。与传统方法相比,这种方法要求所形成的抗蚀剂图案具有较高的精度,才能获得精细的布线图案。、在感光性组合物中,除了光聚合性化合物和光聚合引发剂外,通常还使用光敏剂。在这种感光性组合物中,例如六芳基联咪唑化合物被用作光聚合引发剂。例如,,-二丁氧基蒽(dba)是...
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