技术编号：37392684
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及单晶炉领域，具体是一种直拉单晶炉。背景技术、单晶炉是一种将多晶硅融化，然后通过直拉法而生长无错位单晶的设备，其内部工作环境充满惰性气体。、目前现有技术中，单晶炉在工作的过程中，工作人员需要向主炉室内的坩埚中复投硅料，送料系统主要由送料机构、阀门和石英管组成，阀门安装在单晶炉的顶部，石英管和送料机构分别安装在阀门的两侧，石英管穿过单晶炉体，石英管端部在坩埚上沿处，依靠送料机构向石英管内部送入硅料，然后石英管从坩埚的边缘送入。、但是，物料内的大粒径硅料，其质量较大，在送入的过程中，大...
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