技术编号：37451024
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于射频负氢离子源，尤其涉及一种射频负氢离子源内置射频搪瓷天线的真空密封装置。背景技术、设计真空密封装置的难点之一在于：射频天线的尺寸误差。造成射频天线尺寸误差的第一个原因是特殊的天线形状：负氢离子源内置射频天线由两根竖直方向相互平行的铜管、以及两根铜管下端连接处绕制而成的多个螺旋形线圈组成。由于在加工绕制螺旋线圈的过程中存在尺寸问题，使得从螺旋线圈引出的两根天线铜管之间的间距存在误差。即实际绕制的射频天线两根铜管的间距在尺寸上达不到图纸给的要求。造成射频天线尺寸误差的第二个原因是天线上...
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