技术编号：37460167
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及激光加工，具体而言，涉及一种基于激光光束时空调制的高效刻蚀方法。背景技术、现阶段，飞秒激光刻蚀方法作为一种常见的材料表面微纳加工手段，已经广泛应用于航空航天、国防科技及能源化工等领域。、在相关技术中，主要通过高效刻蚀系统采用飞秒激光技术加工微光学元件，其中，高效刻蚀系统主要包括飞秒激光器、激光偏振调整系统、激光反射镜组、反射式物镜和工作台，其中，工作平台上用于安装待加工的工件，激光偏振调整系统用于使得飞秒激光器输出的飞秒激光光束入射到激光发射镜组，而激光发射镜组用于将飞秒激光光束垂...
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