技术编号：37488508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及太阳能电池片，具体为一种新型perc背面膜层结构及镀膜方法。背景技术、太阳能电池是一种将太阳光能转化为电能的器件，其核心部件是硅片，硅片的表面和背面都需要经过特殊的处理，以提高电池的效率。其中，一种重要的处理方法是背钝化，即在硅片的背面增加一层或多层薄膜，来减少载流子的复合损失，提高少子寿命和开路电压。目前，主流的背钝化结构是氧化铝(alo)和氮化硅(sinx)的叠层，其中氧化铝起到场效应钝化的作用，氮化硅起到反射和保护的作用。、氧化铝的制备方法有多种，其中原子层沉积(ald)...
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