技术编号：37525264
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及一种腔体结构，尤其是涉及一种真空镀膜机的腔体结构。背景技术、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。、但现有的腔体结构是通用的，镀件的数量多，随着镀件量的增加，工作人员手持放置镀件的挂钩的负担就越大，消耗体力，不便于根据镀件的高度来调整腔体的空间使用范围，为此设计一种真空镀膜机的腔体结构。...
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