技术编号：37542040
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器制备，特别是涉及一种基于丝网印刷技术制备钨铼薄膜温度传感器的工艺方法。背景技术、在现代科学和工业领域中，高温环境下的温度测量是一项至关重要的任务。在这方面，钨铼薄膜温度传感器已经成为一种广泛应用的高性能传感器，因为钨铼合金具有良好的高温稳定性和耐腐蚀性，故其备受推崇。、钨铼薄膜温度传感器的制备技术包括物理气相沉积、化学气相沉积、磁控溅射等等，每种制备技术都具有其独特的优点与限制，这些制备方法虽然可实现高质量、高精度的薄膜制备，但制备成本高、技术实现复杂，无法实现快速的制备，在...
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