一种半导体外延的实现方法及半导体器件与流程技术资料下载

技术编号:37580683

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本发明涉及半导体,特别涉及一种半导体外延的实现方法及半导体器件。背景技术、图像传感器通过像素区域感光单元感知外界的光学信号,因而对像素矩阵周边的光信号非常敏感,此外,周边大功率器件工作中散发的热量也会产生红外辐射,这些噪声信号都容易使像素区域边缘感光,引起图像异常。、为了防止这种情况,现有的方案中,通常会在像素矩阵的外围周边布置金属遮蔽层,以屏蔽外围的电磁波信号干扰。但是,金属层的材料通常与半导体衬底的应变系数差异较大,容易产生应力。如果应力过大,很容易导致晶圆弯曲和器件异常,使得后续的工艺...
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