技术编号：37582369
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种大变形量低应变速率轧制制备镍钒溅射靶材的方法，属于金属材料加工大塑性变形。背景技术、在半导体产业中，由于金属溅射靶材优异的性能，常用来制备导电层、粘结层和扩散阻挡层。导电层在早期一般使用金或银等金属，但会与硅晶圆发生反应生成低熔点化合物使得界面容易分离，通常需要使用一层纯镍作为粘结层。但是纯镍粘结层会和导线层金属发生扩散，所以还需要加入一个防止扩散的扩散阻挡层，常常使用纯钒金属作为扩散阻挡层的材料。通过在镍中添加～％的钒进行熔炼，获得镍钒合金铸锭，制备成的镍钒靶材同时具备了纯镍...
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