一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置与流程技术资料下载

技术编号:37586709

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本发明涉及检测领域,特别涉及一种动态划定检测区域的面板检测方法及装置。背景技术、在面板module段的aoi(automated optical inspection,自动光学检测)检测领域,随着工艺技术的更新换代,对于特殊类型的缺陷检出提出了更高精度要求,像原来的微米级的缺陷检出要求,现在升级为亚微米级,使得所使用的镜头放大倍率越来越高,相应地镜头的景深范围逐步被压缩。、然而,面板表平面很难保证一个很好的平面度,所以为了保证拍照清晰度,需要对面板表平面进行高度测定,即面板表面探高,探高的结...
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