一种兼容动静态的本征数字压力传感器及其制作方法与流程技术资料下载

技术编号:37595768

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及硅基mems传感器,特别涉及一种兼容动静态的本征数字压力传感器及其制作方法。背景技术、为了避免被测压力介质和环境污损、劣化敏感部件的特性,常规硅基压力传感器敏感芯片与介质和环境的气密性隔离,采用粘接固片、引线键合、充液铠装的封装方法。这类隔离封装会使传感器体积尺度和重量比敏感芯片尺度和重量大数倍,加上填充液体固有的黏滞和惯性、粘接剂力学特性和弓形引线可动性的耦合作用,使硅基传感器的高固有频率和耐压抗振鲁棒性明显退化,限制高准确度和高稳定性的硅谐振压力传感器动态压力测量适用。技术实现思...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 田老师:1: 建筑节能 绿色建筑能耗的模拟与检测(EnergyPlus);建筑碳排放和生命周期评价;城市微气候、建筑能耗与太阳能技术的相互影响;地理信息系统(GIS)和空间回归方法用于城市建筑能耗分析;不确定性、敏感性分析和机器学习方法应用于建筑能耗分析(R);贝叶斯方法用于城市和单体建筑能源分析 2: 过
  • 孙老师:1.振动信号时频分析理论与测试系统设计 2.汽车检测系统设计 3.汽车电子控制系统设计
  • 毕老师:机构动力学与控制
  • 王老师:1.计算机网络安全 2.计算机仿真技术
  • 周老师:1.智能机器人技术 2.智能检测与控制技术 3.机构运动学与动力学 4.机电一体化技术
  • 张老师:1.机械设计的应力分析、强度校核的计算机仿真 2.生物反应器研制 3.生物力学
  • 孙老师:1.机机器人技术 2.机器视觉 3.网络控制系统
  • 葛老师:1.机器人技术 2.计算机辅助技术