技术编号:37596954
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及多晶硅冷氢化生产,特别是涉及一种可提高转化率及产量的冷氢化系统。背景技术、冷氢化工序是改良西门子法生产多晶硅的重要工序之一。通常的冷氢化工序是将四氯化硅与氢气混合加热气化,加热至℃,通入流化床与硅粉发生反应生成三氯氢硅的过程。现有技术中的冷氢化系统如图所示,流化床内设置有旋风除尘器,目的是将冷氢化反应后合成气携带出来的硅粉通过离心力和重力实现气固分离,气固分离出来的硅粉重新落入流化床的反应区,以使这部分硅粉重新参与冷氢化反应,以提高硅粉的转化率及利用率。然而,在冷...
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