技术编号:37643060
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及半导体,特别是涉及一种超导磁体装置及超导磁体装置的调整方法。背景技术、磁控直拉单晶超导磁体是一种用于直拉单晶硅生长的超导磁体系统。在直拉单晶硅的过程中,通过附加一定强度的磁场,可以有效提高单晶硅棒的均匀性,进而提高单晶硅棒品质。、磁控直拉单晶超导磁体是布置于单晶炉周围用于提供超导磁体的装置,其产生的磁场位形对拉晶效果影响很大,可直接影响拉晶的质量。、目前,对磁控直拉单晶超导磁体产生的水平磁场的零磁面的调控基本来自于超导磁体自身的工艺控制,以及与单晶炉的装配配合精度控制。并通过磁场...
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