技术编号：37696267
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于等离子体清洗，涉及一种改进门板的进气通道的等离子体清洗腔。背景技术、等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质，常被视为是除去固、液、气外，物质存在的第四态。、等离子体广泛应用于清洗，清洗过程是，在真空的腔体内压力到达一定范同时充入氧、氩、氢等工艺气体，利用高电压将工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行物理轰击与化学活化，使被清洗物表面物质变成粒子和气态物质，经过抽真空排出，从而达到清洗目的。、现有的用于等离子体清洗的腔...
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