技术编号：37708955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及单晶硅生产设备，特别是涉及一种用于对单晶炉进行清理的清扫机器人的清理头摆动控制机构。背景技术、现有的单晶炉的清理头采用旋转式操作方式，随着整个清扫机器人的前进而不断旋转清理头，进而对单晶炉内壁进行清理。但是采用旋转式的清理方式，由于清理头的无纺布上持续承受同一个方向的力，从而使附着在无纺布上的颗粒物会随着清理的进行而不断积累，当颗粒物积累过多时就会对单晶炉的内壁带来摩擦，而其清理效果也会随着清理的进行而不断下降。技术实现思路、本实用新型实施例所要解决的技术问题在于，提供一种清扫机器...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。