技术编号:37733083
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及太阳能电池,尤其涉及一种钝化复合功能层和topcon电池。背景技术、目前topcon(隧穿氧化层钝化接触)技术作为钝化接触技术的主流代表已进入大规模量产阶段。常规topcon电池的背面钝化接触结构包括n型硅基体的背表面,该背表面依次覆盖有隧穿氧化层、掺杂多晶硅层、氮化硅减反层和金属电极,而硅基体背表面沉积了//三层复合功能层,金属电极通过高温烧结穿透氮化硅层与掺杂多晶硅层形成欧姆接触。、由于掺杂多晶硅层是直接设置在隧穿氧化层和氮化硅减反层之间,这使得掺杂多晶硅层在与电极的接触...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。