技术编号：37824081
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及射频声学器件领域，尤其涉及一种基于压电薄膜的高频声学超晶格谐振器及其制备方法。背景技术、声学谐振器能够对无线信号进行滤波处理，被广泛应用于移动通信设备的射频前端模块并发挥着不可替代的作用。近年来，随着全球数据通信流量的爆炸增长，具有更高传输速率和数据承载能力的g/g通信技术得到快速发展。为了满足更高工作频率和更大带宽的通信技术需求，如何实现更高频和更高机电耦合系数的声学谐振器成为急需解决的问题。、目前广泛应用的声学谐振器主要分为声表面波器件和声体波器件。声表面波器件主要由压电基...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。