技术编号:37843129
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及真空镀膜,具体而言,涉及一种真空蒸镀设备。背景技术、复合集流体材料作为锂电池正负极铝箔铜箔的替代品,正广泛应用在锂电池产品的制备过程中。复合集流体可提高锂电池的能力密度,降低锂电池重量,降低锂电池穿刺起火危险的产生。、真空蒸发镀膜是复合集流体材料的主要生产方式,但是在镀单面铜膜过程中常出基材严重的翘边现象,极大的影响基材收卷效果。导致另一面镀铜膜过程中蒸镀效果不佳。技术实现思路、本公开的目的在于针对相关技术中的技术问题,提供一种真空蒸镀设备。具体方案如下:、本公开实施例提供一种...
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