技术编号：37871636
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于真空镀膜设备隔热，具体涉及一种真空镀膜设备的高温腔体隔热结构。背景技术、真空蒸镀是利用真空镀膜设备对样品镀膜的多种方法之一，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度。、为保证镀膜空间内的温度，一般会在镀膜设备与放置腔之间设置保温夹层，这种保温夹层一般由玻璃棉岩棉或其他保温材料以填充而形成的，当这些保温材料的隔温效果衰减后，将其从保温夹...
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