技术编号：37980955
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及片上集成光调制领域，更具体的，涉及一种基于双层石墨烯结构的热光微环调制器。背景技术、大规模光互连和集成光子系统的技术迭代种，实现高性能小型化光调制器被视为至关重要的一环。光调制器具有控制信号光的相位、幅度、强度和偏振态的能力，具有速度快、尺寸小以及兼容片上电气链路的特点，因而成为大规模光互连和集成光子系统中不可或缺的光电器件。、在典型的光调制器中，借助硅的显著热光系数实现了有效折射率的热光调谐，即热光效应，这一机制目前被广泛应用于实现光调制的关键途径之一。与基于其它效应的电光调制方...
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