技术编号：37985984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种用于水冷电极的密封塞。背景技术、第三代半导体设备，是用于sic长晶炉的一款水冷电极产品，在加工制造完成后需要进行水压检漏，以此来检验产品焊接的质量效果，这种水冷电极产品的主要结构一端为内外管结构，内管进水，水进入扇形的水冷电极产品之后，外管和内管之间的环形间隙进行出水，在进行水压检漏的时候需要将内管与外管的间隙堵住，将.mp的水从进水口打进去，保压小时无泄漏，则水冷电极产品焊接合格，反之则不合格。、现有技术下通过普通塞子只能塞住内管和外管之间的间隙，塞...
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