技术编号:38013435
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于多晶硅生产中检测设备,具体涉及一种多晶硅生产中尾气漏水检测系统。背景技术、在多晶硅生产过程中,一部分装置的外部会使用到夹套,向夹套中通换热介质对装置中的物料进行换热(降温或加热),如还原炉尾气环管、尾气冷却器都常采用夹套通冷却介质对流体进行降温,即设备内部通过工艺气体(或尾气)、壳层通过冷却水介质。而在设备制造过程中或设备生产运行过程中,因某些因素会导致部分夹套管漏水,而水极易与尾气中的氯硅烷反应产生盐酸,盐酸的生成加速冷却器、连接管道等设备的损坏,另外,一旦水份流入尾气,还会导致下...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。